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    液晶面板行业超纯水系统

    液晶面板行业超纯水系统

    在液晶面板的整个生产过程中，80%的工序需要大量用到超纯水，且随着液晶面板尺寸的增大以及显示清晰度的提高，对超纯水水质的要求也越来越高。

    面板行业典型的超纯水工艺流程

     

    液晶面板的制程可划分为三个阶段

    1、前段的半导体制程（array），也就是把晶体管的薄膜层做在玻璃基板上。
    2、只中段则为灌液晶的组立制程（cell），即把彩色滤光片的玻璃与晶体管薄膜层的玻璃，组合在一起，中间灌入液晶。
    3、月后段即为面板模块，也就是把cell的背后加上背光板、铁件与一些IC零件，成为所谓的面板模块。

     

    面板行业用水标准

    水质指标

    DIW

    UPW

    对应的处理方法

    Resistivity(MQ ·cm)

    ≥16.5MΩ-cm

    ≥18.0MQ ·cm

    /

    Particle((0.5μm)

    ≤50 ea/ml

    ≤10 ea/ml

    MMF/MF/RO/UF

    Bacteria

    ≤10 Col/100ml

    ≤5 Col/100ml

    MF/UV/UF

    TOC(mg/L)

    ≤50ppb

    ≤20ppb

    ACF&UV(185nm)

    Silica(mg/L)

    ≤20ppb

    ≤5ppb

    RO/UF/IX

    DO(mg/L)

    ≤50ppb

    ≤30ppb

    MDG

    Na(mg/L)

    ≤0.5ppb

    ≤0.1ppb

    Cation lon Exchanger

    K(mg/L)

    ≤0.5ppb

    ≤0.1ppb

    Cation lon Exchanger

    Ca(mg/L)

    /

    /

    Cation lon Exchanger

    CO3-2(mg/L)

    /

    /

    Anion lon Exchanger

    HCO3-(mg/L)

    /

    /

    Anion lon Exchanger

    Cl-(mg/L)

    /

    ≤1.0ppb

    ACF &Anion lon Exchanger

    SO4-2(mg/L)

    /

    /

     

     

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